Τριφθοριούχο άζωτο (NF3) Αέριο υψηλής καθαρότητας
Βασικές Πληροφορίες
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Τι είναι αυτό το υλικό;
Το τριφθοριούχο άζωτο (NF3) είναι ένα άχρωμο και άοσμο αέριο σε θερμοκρασία δωματίου και ατμοσφαιρική πίεση. Μπορεί να υγροποιηθεί υπό μέτρια πίεση. Το NF3 είναι σταθερό υπό κανονικές συνθήκες και δεν αποσυντίθεται εύκολα. Ωστόσο, μπορεί να αποσυντεθεί όταν εκτίθεται σε υψηλές θερμοκρασίες ή παρουσία ορισμένων καταλυτών. Το NF3 έχει υψηλό δυναμικό υπερθέρμανσης του πλανήτη (GWP) όταν απελευθερώνεται στην ατμόσφαιρα.
Πού να χρησιμοποιήσετε αυτό το υλικό;
Καθαριστικό στη βιομηχανία ηλεκτρονικών ειδών: Το NF3 χρησιμοποιείται ευρέως ως καθαριστικό για την αφαίρεση υπολειμματικών ρύπων, όπως οξείδια, από τις επιφάνειες ημιαγωγών, τα πάνελ οθόνης πλάσματος (PDP) και άλλα ηλεκτρονικά εξαρτήματα. Μπορεί να καθαρίσει αποτελεσματικά αυτές τις επιφάνειες χωρίς να τις καταστρέψει.
Αέριο χάραξης στην κατασκευή ημιαγωγών: Το NF3 χρησιμοποιείται ως αέριο χάραξης στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Είναι ιδιαίτερα αποτελεσματικό στη χάραξη του διοξειδίου του πυριτίου (SiO2) και του νιτριδίου του πυριτίου (Si3N4), τα οποία είναι κοινά υλικά που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
Παραγωγή ενώσεων φθορίου υψηλής καθαρότητας: Το NF3 είναι μια πολύτιμη πηγή φθορίου για την παραγωγή διαφόρων ενώσεων που περιέχουν φθόριο. Χρησιμοποιείται ως πρόδρομος στην παραγωγή φθοροπολυμερών, φθορανθράκων και ειδικών χημικών ουσιών.
Παραγωγή πλάσματος στην κατασκευή επίπεδων οθονών: Το NF3 χρησιμοποιείται μαζί με άλλα αέρια για τη δημιουργία πλάσματος στην παραγωγή επίπεδων οθονών, όπως οθόνες υγρών κρυστάλλων (LCD) και PDP. Το πλάσμα είναι απαραίτητο για τις διαδικασίες εναπόθεσης και χάραξης κατά την κατασκευή του πάνελ.
Λάβετε υπόψη ότι οι συγκεκριμένες εφαρμογές και οι κανονισμοί για τη χρήση αυτού του υλικού/προϊόντος ενδέχεται να διαφέρουν ανά χώρα, κλάδο και σκοπό. Ακολουθείτε πάντα τις οδηγίες ασφαλείας και συμβουλευτείτε έναν ειδικό πριν χρησιμοποιήσετε αυτό το υλικό/προϊόν σε οποιαδήποτε εφαρμογή.
